* Quận Bắc Từ Liêm có dân số hơn 319.000 người, diện tích hơn 4.335 ha, mật độ dân số 7.377 người/km2.

Địa giới của quận được xác định ranh giới phần đất phía bắc của huyện Từ Liêm hiện tại, dự kiến bao gồm toàn bộ diện tích trong địa giới hành chính của 9 xã: Thượng Cát, Liên Mạc, Tây Tựu, Thụy Phương, Đông Ngạc, Xuân Đỉnh, Phú Diễn, Minh Khai, Cổ Nhuế và phần đất thị trấn Cầu Diễn phía tây sông Nhuệ.

Dự kiến các đơn vị hành chính trực thuộc quận Bắc Từ Liêm gồm 13 phường: 5 phường giữ nguyên tên cũ là Thượng Cát, Liên Mạc, Tây Tựu, Thụy Phương, Minh Khai; 8 phường được hình thành và tách từ 4 xã cũ có tên mới là Đông Ngạc 1, Đông Ngạc 2, Cổ Nhuế 1, Cổ Nhuế 2, Xuân Đỉnh 1, Xuân Đỉnh 2, Phú Diễn 1 và Phú Diễn 2.

* Quận Nam Từ Liêm có dân số hơn 233.000 người, diện tích hơn 3.227 ha, mật độ dân số 7.234 người/km2.

Địa giới của quận là phần đất ở phía nam huyện Từ Liêm hiện tại, dự kiến bao gồm toàn bộ diện tích trong địa giới hành chính của 7 xã: Tây Mỗ, Đại Mỗ, Mễ Trì, Mỹ Đình, Trung Văn, phần lớn diện tích xã Xuân Phương và phần đất thị trấn Cầu Diễn (phía nam quốc lộ 32).

Dự kiến các đơn vị hành chính trực thuộc quận Nam Từ Liêm gồm 10 phường: 4 phường giữ nguyên tên cũ là Trung Văn, Đại Mỗ, Tây Mỗ, Cầu Diễn; 6 phường được hình thành và tách từ 3 xã gồm Mỹ Đình 1, Mỹ Đình 2, Xuân Phương 1, Xuân Phương 2, riêng xã Mễ Trì được tách thành 02 phường là Mễ Trì (bao gồm thôn Mễ Trì Hạ và Mễ Trì Thượng), thôn Phú Đô thành lập phường Phú Đô.